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日本UNION高倍率工業(yè)顯微鏡
日本union高倍率工業(yè)顯微鏡,在非接觸光學(xué)方法下檢測(cè)焦點(diǎn)時(shí),可在不受試樣物理損傷影響的情況下進(jìn)行測(cè)量,如變形、沖擊或刻痕等。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的焊縫精密測(cè)量!
高倍率工業(yè)顯微鏡應(yīng)用場(chǎng)景
(1)引線框架高度
(2)IC探頭高度、探頭尖端磨損程度
(3)焊線和焊球的高度
(4)多層PC板上的終端臺(tái)階
(5)硅片和砷化鎵上的步驟
(6)石英晶體上的臺(tái)階
(7)罐上的凹槽
(8)墊片厚度
總的來說,是焊接后焊縫高精密測(cè)量?jī)x器。
高倍率工業(yè)顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)
高倍率工業(yè)顯微鏡測(cè)量原理
該顯微鏡系統(tǒng)提供了一個(gè)精確的聚焦指示器,該指示器由折射率分劃(目標(biāo)標(biāo)記)和內(nèi)置在顯微鏡反射照明光學(xué)系統(tǒng)中的分束棱鏡組成。它是根據(jù)光學(xué)原理設(shè)計(jì)的,在對(duì)焦?fàn)顟B(tài)下,上下兩半重合,可以在試樣的對(duì)焦圖像上方觀察到,即使稍微散焦,也可以在分劃的上下兩半將折射率線分成兩條線。
高倍率工業(yè)顯微鏡的測(cè)量方法
通過確認(rèn)分劃上半部分和下半部分中的垂直索引線與兩條直線完全重合,確保精確的焦點(diǎn),而不是判斷樣本表面的圖像是否模糊。因?yàn)檫@是一個(gè)獨(dú)特的系統(tǒng),既不受物鏡焦距的影響,也不依賴人眼辨別兩點(diǎn)的能力,與其他聚焦系統(tǒng)相比,焦點(diǎn)可以非常精確地確定。該聚焦系統(tǒng)和數(shù)字儀表允許非接觸、高精度測(cè)量表面之間的臺(tái)階高度。
高倍率工業(yè)顯微鏡的優(yōu)勢(shì)
在非接觸光學(xué)方法下檢測(cè)焦點(diǎn)時(shí),可在不受試樣物理損傷影響的情況下進(jìn)行測(cè)量,如變形、沖擊或刻痕等。
參考圖-①由于采用了基于“分割目標(biāo)”方法的精確聚焦指示器,只需將分劃的兩半重合即可進(jìn)行高度精確的深度測(cè)量。由于操作簡(jiǎn)單,這是最適合各種應(yīng)用的測(cè)量顯微鏡系統(tǒng)。在觀察測(cè)量點(diǎn)的微小表面狀況時(shí),可以確定測(cè)量參考點(diǎn)和測(cè)量點(diǎn)之間的位置關(guān)系,也可以在同一視野內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。
參考圖-②可通過使用高倍率物鏡提高測(cè)量精度。
參考圖-③可根據(jù)試樣表面條件選擇黑色條紋或白色條紋目標(biāo)標(biāo)記。由于杠桿可選擇三種目標(biāo)標(biāo)記狀態(tài)(黑色條紋、白色條紋和無),因此必要時(shí)可在無目標(biāo)標(biāo)記的情況下拍攝照片。
各種型號(hào)可通過觀察頭、測(cè)量臺(tái)等不同設(shè)備組合配置,取決于各自用戶的應(yīng)用程序(參考系統(tǒng)圖)如果使用激光系統(tǒng)觀察透明、鏡面或梨皮表面,由于漫反射,容易出現(xiàn)聚焦誤差。在我們的光學(xué)系統(tǒng)中,目標(biāo)標(biāo)記可以投射到這些表面上,可以測(cè)量這些樣品表面的臺(tái)階高度。
高倍率工業(yè)顯微鏡產(chǎn)品尺寸
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